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[发明] 深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法 - 00119595.6
无权-未缴年费

申请人:中国科学院上海冶金研究所 浙江大学 - 申请日:2000-08-11 - 主分类号:C23F1/02
分类号:C23F1/02 B81B5/00...
摘要:本发明公开一种深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法,针对深反应离子刻蚀技术在制作具有可动结构的器件中出现的可动结构释放后即受到较大破坏的问题,采用牺牲层固定可动结构,使器件可动结构在进行深反应离子刻蚀工艺时始终保持静止不释放状态以保...
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[发明] 对微机电装置的某些改进 - 00136436.7
无权-视为撤回

申请人:森桑诺尔有限公司 - 申请日:2000-12-22 - 主分类号:B81B7/00
分类号:B81B7/00 H01L27/01 H01L2...
摘要:一种包含电气和机械元件的装置,它由多层组成,其中:$第一层或层组用作一个或多个电极或导体;第二层用作一个或多个压力触点或导线触点或导线连接垫。第二层具有与第一层不同的物理特性,第一层或层组比较硬或韧性较好,而第二层比较软或延展性较好。还提供...
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[发明] 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法 - 01105783.1
无权-未缴年费

申请人:中国科学院上海冶金研究所 - 申请日:2001-03-23 - 主分类号:B81B7/02
分类号:B81B7/02...
摘要:一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法,属于微电子机械系统领域。每个单刀双掷开关中共有由三条共平面波导,一条作为信号输入端,另二条和信号输入端相连形成一种一分为二的分支结构。每个分支线上各有一个电容和一个外加电压端。分支线上两条平面波导...
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[发明] 将气密盖密封到半导体管芯的方法和装置 - 99811548.7
无权-视为撤回

申请人:硅光机器公司 - 申请日:1999-07-28 - 主分类号:B81B7/00
分类号:B81B7/00 H01L23/10 G02B5...
摘要:一种气密地钝化半导体器件的方法和装置包括将盖直接密封到半导体衬底上。有源器件形成在衬底的表面上,并由基本上平坦的盖密封区环绕,进而由键合焊盘环绕。第一层可焊接材料形成在盖密封区上。提供盖,盖具有结构上对应于第一层的第二层可焊接材料。焊料层提...
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[发明] 具有制动组件以控制光学快门和可动元件运动的机电装置 - 01112015.0
无权-视为撤回
权利转移

申请人:克罗诺斯集成微系统公司 - 申请日:2001-03-27 - 主分类号:B81B3/00
分类号:B81B3/00 G02B26/00 G03B9...
摘要:一微型电子机械装置,包括有第一和第二光纤的基片。一光学快门以机械方式与由支承结构支承的多个第一拱形横梁相连。在该快门的第一侧提供多个第二拱形横梁。一第一制动部件与之相连,且在其松弛时接触并限制快门沿±y方向移动,但在其沿-x方向移动时释放该...
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[发明] 在随热启动梁移动的加热器上包括该梁的微电子机械系统 - 01112014.2
无权-视为撤回
权利转移

申请人:克罗诺斯集成微系统公司 - 申请日:2001-03-27 - 主分类号:B81B7/02
分类号:B81B7/02 F01L1/00...
摘要:改进的结构,包括位于微电子基片上的相间隔的支承件以及一在该支承件间延伸并在将热量加于其上时膨胀的梁,从而使该梁在支承件之间位移。位于该梁上的加热器将热量加于该梁并在其位移时随其位移。故可将热量直接加于拱形梁上,从而减少其与加热器间的热损失。...
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[发明] 反射镜数量减少的微机电光学交连转换开关及其操作方法 - 01116779.3
无权-视为撤回
权利转移

申请人:克罗诺斯集成微系统公司 - 申请日:2001-04-30 - 主分类号:B81B7/02
分类号:B81B7/02 G02B26/00...
摘要:结构简化的N×N光学交叉连接(OXC)转换开关,包括到该转换开关的N个输入和从该转换开关向外的N个输出,其中N至少为3。该转换开关提供N!种状态,将N个输入中的任一个光耦合到N个输出中的任一个。该转换开关还包括若干转换节点,有选择地光耦合到...
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[发明] 狭窄间距用连接器、静电传动机构、压电传动机构、喷墨头、喷墨打印机、微型机、液晶盘、电子机器 - 00800475.7
有权

申请人:精工爱普生株式会社 - 申请日:2000-03-31 - 主分类号:B81B1/00
分类号:B81B1/00 H01R11/01 B41J2...
摘要:电极间的间距即使微细也能适用的狭窄间距用连接器、包括该狭窄间距用连接器的静电传动机构、压电传动机构、微型机、液晶盘、以及使用这些静电传动机构、压电传动机构的喷墨头、安装了这些喷墨头的喷墨打印机、电子机器。一种狭窄间距用连接器(20),它是在...
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[发明] 窄间距用连接器、间距变换装置、微机械、压电传动器、静电传动器、喷墨头、喷墨打印机液晶面板、电子装置 - 00800474.9
有权

申请人:精工爱普生株式会社 - 申请日:2000-03-31 - 主分类号:B81B1/00
分类号:B81B1/00 H01R11/01 B41J2...
摘要:本发明提供窄间距用连接器、间距变换装置、微机械、压电传动器、静电传动器、喷墨头、喷墨打印机、液晶面板、电子装置,其中,即使施加热应力,也能减小被连接的端子电极相互的位置偏移,同时,可进行被安装的半导体装置的有效的散热。$在基板上形成了多个第...
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[发明] 温度补偿微型电动机械结构以及补偿环境温度变化的作用的方法 - 00800228.2
无权-视为撤回
权利转移

申请人:克罗诺斯集成微系统公司 - 申请日:2000-02-21 - 主分类号:B81B3/00
分类号:B81B3/00 H02N10/00...
摘要:提供一种补偿环境温度的变化、工艺的改变等等的MEMS结构,它可利用于许多应用中。这种结构包括一个主动微致动器(105),适合于热致动以响应其温度的主动改变而运动。主动微致动器可进一步适合于响应环境温度的变化而运动。这种结构还包括一个温度补偿...
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