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分类
分类号 含义
B 作业;运输
B81 微观结构技术
B81C 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统
3/00 从单独处理过的部件组装装置或系统
5/00 .(转入B81C 99/00)
99/00 本小类其他各组中不包括的技术主题